Waferträger mit Waferhaltesystem
EP1453745
Art A1
8. September 2004
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1453745
- Aktenzeichen
- EP02780693
- Anmeldetag
- 14. November 2002
- Veröffentlichung
- 8. September 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B65D85/48
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kupiainen, Juhani Kalervo
Helsinki, Finnland
274
Patente gesamt
30
Fachgebiete
9
Anmelder-Länder
Schwerpunkte