Verfahren und Vorrichtung zur Chemischen Aufdampfung mit der Fähigkeit zur Verhinderung einer Verschmutzung und zur Verbesserung der Filmwachstumsrate
Anmelder: Piezonics Co., Ltd., Korea Institute of Industrial Technology, Byun, Chul Soo 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1454346
- Aktenzeichen
- EP02788864
- Anmeldetag
- 4. Oktober 2002
- Veröffentlichung
- 4. Januar 2012
- Erteilung
- 4. Januar 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/205
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Piezonics Co., Ltd.
Korea Institute of Industrial Technology
Byun, Chul Soo - Land
- 🇰🇷 Südkorea
Das Korea Institute of Industrial Technology (KITECH) ist eine südkoreanische staatliche Forschungseinrichtung für angewandte Industrietechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik sowie Metallurgie und Halbleitertechnik, ergänzt durch Verfahrenstechnik. Anmeldungen sind von 2002 bis in die Gegenwart belegt.
688 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Page White & Farrer wurde bereits 1977 als Londoner Kanzlei europäischer Patentanwälte eingetragen, mit weiteren Büros in Leeds, Exeter und München. Berät zu Patenten, Marken, Designrechten sowie IP-Strategie und Finanzierungsrunden, Schwerpunkte Künstliche Intelligenz, Life Sciences und Cleantech.
-
Franks, Robert Benjamin
NoneSant Cugat del Vallès