Gerät und Verfahren zur Einzel- oder Doppelsubstratverarbeitung
EP1454350
Art A1
8. September 2004
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC., SCP Global Technologies, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1454350
- Aktenzeichen
- EP02797224
- Anmeldetag
- 6. Dezember 2002
- Veröffentlichung
- 8. September 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306B08B3/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
SCP Global Technologies, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.780 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Jackson, David Spence
London, Großbritannien
226
Patente gesamt
25
Fachgebiete
9
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Schwerpunkte