Kombiniertes Athermales Aufheizen und Rta Verfahren

EP1454351 Art A2 8. September 2004

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1454351
Aktenzeichen
EP02794074
Anmeldetag
26. November 2002
Veröffentlichung
8. September 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/324
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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