Verfahren zur Herstellung von Dünnem Oxidfilm und Herstellungsapparatur
EP1454879
Art A1
8. September 2004
Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1454879
- Aktenzeichen
- EP02788766
- Anmeldetag
- 10. Dezember 2002
- Veröffentlichung
- 8. September 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C01B13/14C01B13/32C01B33/12H01L29/78H01L21/316
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.
3.785 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Smith, Norman Ian
London, Großbritannien
330
Patente gesamt
31
Fachgebiete
18
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Schwerpunkte