System und Verfahren zur Zuverlässigkeitsbewertung
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Kabushiki Kaisha Toshiba, IBIDEN CO., LTD., KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1455388
- Aktenzeichen
- EP02788667
- Anmeldetag
- 27. November 2002
- Veröffentlichung
- 7. Mai 2008
- Erteilung
- 7. Mai 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66G01R31/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
Kabushiki Kaisha Toshiba
IBIDEN CO., LTD.
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA - Land
- 🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.
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Ibiden ist ein japanischer Hersteller elektronischer Materialien mit Sitz in Ogaki, spezialisiert auf IC-Substrate für Halbleiter sowie Keramikprodukte für die Automobil- und Elektronikindustrie.
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