Verfahren zur Abscheidung von Dielektrischen Materialien bei Damascene-Anwendungen
EP1456434
Art A1
15. September 2004
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1456434
- Aktenzeichen
- EP02805144
- Anmeldetag
- 13. Dezember 2002
- Veröffentlichung
- 15. September 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/32C23C16/42H01L21/314H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.794 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Bayliss, Geoffrey Cyril
London, Großbritannien
655
Patente gesamt
33
Fachgebiete
15
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