Suszeptor für das Epitaxiale Wachstum

EP1456871 Art B1 9. Juli 2008

Anmelder: SUMCO Corporation, SUMCO CORPORATION, Ishibashi, Masayuki, Krueger, John F., Dohi, Takayuki, Horie, Daizo, Fujikawa, Takashi, Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1456871
Aktenzeichen: EP02795973
Anmeldetag: 23. Dezember 2002
Veröffentlichung: 9. Juli 2008
Erteilung: 9. Juli 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/687C23C16/455C23C16/458C30B25/12C30B29/06

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: SUMCO Corporation
SUMCO CORPORATION
Ishibashi, Masayuki
Krueger, John F.
Dohi, Takayuki
Horie, Daizo
Fujikawa, Takashi
Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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