Wafer-Träger mit Frontöffnung und Erdleitung
EP1458634
Art A1
22. September 2004
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1458634
- Aktenzeichen
- EP02794034
- Anmeldetag
- 26. November 2002
- Veröffentlichung
- 22. September 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B65D85/30B65D85/48
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
Kupiainen, Juhani Kalervo
Helsinki, Finnland
274
Patente gesamt
30
Fachgebiete
9
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Schwerpunkte