Verfahren zur Abscheidung von Siliciumnitridfilmen und Siliciumoxidnitridfilmen mittels Cvd

EP1458903 Art B1 30. Januar 2008

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1458903
Aktenzeichen
EP02803815
Anmeldetag
27. November 2002
Veröffentlichung
30. Januar 2008
Erteilung
30. Januar 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/34C23C16/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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