Verwendung von Strontiumcarbonat als Schleifmittel Beim Chemisch-Mechanischem Polieren von Mikroelektronischen Bauteilen
EP1459368
Art B1
27. Februar 2008
Anmelder: Solvay Infra Bad Hönningen GmbH, SOLVAY BARIUM STRONTIUM GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1459368
- Aktenzeichen
- EP02796629
- Anmeldetag
- 13. Dezember 2002
- Veröffentlichung
- 27. Februar 2008
- Erteilung
- 27. Februar 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/302H01L21/306
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Solvay Infra Bad Hönningen GmbH
SOLVAY BARIUM STRONTIUM GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Vande Gucht, Anne
Bruxelles, Belgien
696
Patente gesamt
28
Fachgebiete
11
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Fischer, Reiner (DE)
NoneHannover