Methode für die Planarisierung von Gruppe-Viii-Metallhaltigen Oberflächen mit Oxidierenden Gasen

EP1459370 Art A2 22. September 2004

Anmelder: Micron Technology, Inc., MICRON TECHNOLOGY, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1459370
Aktenzeichen
EP02787053
Anmeldetag
17. Dezember 2002
Veröffentlichung
22. September 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/321
Offizieller Volltext

Abstract

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Firmen
Micron Technology, Inc.
MICRON TECHNOLOGY, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Micron Technology

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.

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