Verfahren zur Herstellung eines keramischen Films sowie im Verfahren benutzte Druckwärmebehandlungsvorrichting

EP1460049 Art A3 7. September 2005

Anmelder: Seiko Epson Corporation, SEIKO EPSON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1460049
Aktenzeichen: EP04251512
Anmeldetag: 17. März 2004
Veröffentlichung: 7. September 2005
Rechtsraum: EP
IPC: C04B35/622F27B17/00F27B5/16H01L21/324H01L21/316H01L21/02C30B1/12C04B41/00

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

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