Vorrichtung und Verfahren zur Messung von Variationen der Form oder der Dicke von polierten, opaken Platten

EP1460374 Art B1 11. Mai 2016

Anmelder: KLA-Tencor Corporation, Phase Shift Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von

Keane, Paul Fachtna Dublin, Irland

492

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Fachgebiete

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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