Ätzen einer BARC-Schicht mit einem selektiven Ätzmittel und einem hochpolymerisierenden Gas zur Kontrolle der Kritischen Dimension (CD)
EP1460677
Art A3
6. April 2005
Anmelder: Texas Instruments Incorporated, TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1460677
- Aktenzeichen
- EP04101122
- Anmeldetag
- 18. März 2004
- Veröffentlichung
- 6. April 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Texas Instruments Incorporated
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Texas Instruments
US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Dallas (Texas). Entwickelt und fertigt analoge und eingebettete Halbleiterprodukte, Prozessoren sowie Schaltkreise für Industrie, Automobil- und Konsumelektronik.
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Holt, Michael
Northampton, Großbritannien
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