Performance-Polymerfilm-Einfügeformung für Fluidsteuereinrichtungen

EP1461825 Art A2 29. September 2004

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1461825
Aktenzeichen
EP02784618
Anmeldetag
26. November 2002
Veröffentlichung
29. September 2004
Rechtsraum
EP
IPC
B29C45/14F16K27/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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