Oberflächenbehandlung einer Halbleiterscheibe vor dem Kleben
EP1462184
Art B1
29. Februar 2012
Anmelder: Soitec, S.O.I.T.E.C. Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1462184
- Aktenzeichen
- EP04290796
- Anmeldetag
- 25. März 2004
- Veröffentlichung
- 29. Februar 2012
- Erteilung
- 29. Februar 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B08B3/08H01L21/02H01L21/20H01L21/67H01L21/762
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Soitec
S.O.I.T.E.C. Silicon on Insulator Technologies - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Soitec
Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.
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Weitere Vertreter
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Regimbeau
Regimbeau · Rennes