Verfahren zum reaktiven Magnetron-sputtern

EP1462538 Art B1 10. Mai 2006

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1462538
Aktenzeichen: EP04003122
Anmeldetag: 12. Februar 2004
Veröffentlichung: 10. Mai 2006
Erteilung: 10. Mai 2006
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/00C23C14/35

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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