Herstellungsverfahren von Schichten aus Metalloxiden auf eine Substratoberfläche

EP1462543 Art A1 29. September 2004

Anmelder: Canon Anelva Corporation, ANELVA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1462543
Aktenzeichen
EP04251810
Anmeldetag
26. März 2004
Veröffentlichung
29. September 2004
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/50C23C16/455C23C16/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Canon Anelva Corporation
ANELVA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

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