Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Lichtintensitätsverteilung im EUV bereich
EP1462780
Art A1
29. September 2004
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1462780
- Aktenzeichen
- EP04251661
- Anmeldetag
- 23. März 2004
- Veröffentlichung
- 29. September 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01J1/42G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CANON KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Beresford, Keith Denis Lewis
London, Großbritannien
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