Einachsige Antriebseinheit

EP1462893 Art A3 5. März 2008

Anmelder: TOKYO SEIMITSU CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1462893
Aktenzeichen: EP04007114
Anmeldetag: 24. März 2004
Veröffentlichung: 5. März 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G05B19/409G05B19/23

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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