Verfahren zur Herstellung einer Multipollinse, Multipollinse und damit ausgerüsteter Teilchenstrahlapparat
EP1463086
Art B1
24. Dezember 2008
Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd., Jeol Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1463086
- Aktenzeichen
- EP04251594
- Anmeldetag
- 19. März 2004
- Veröffentlichung
- 24. Dezember 2008
- Erteilung
- 24. Dezember 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/10H01J9/02H01J37/141
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Jeol Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JEOL
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.
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Fachgebiete
Vertreten von
Cross, Rupert Edward Blount
London, Großbritannien
2.091
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