Vorrichtung zur thermischen Behandlung von Halbleitern

EP1463093 Art B1 5. März 2008

Anmelder: Asahi Glass Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1463093
Aktenzeichen: EP04007264
Anmeldetag: 25. März 2004
Veröffentlichung: 5. März 2008
Erteilung: 5. März 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00C23C16/00C23C16/44C30B25/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Asahi Glass Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von