Belichtungseinrichtung, Belichtungsverfahren, und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements
EP1463096
Art B1
9. Mai 2012
Anmelder: Seiko Epson Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1463096
- Aktenzeichen
- EP02751733
- Anmeldetag
- 26. Juli 2002
- Veröffentlichung
- 9. Mai 2012
- Erteilung
- 9. Mai 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Seiko Epson Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Epson
Japanisches Unternehmen, das Drucker, Scanner, Projektoren sowie Uhrwerke und Sensortechnik entwickelt und herstellt.
7.318 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kenyon, Sarah Elizabeth
London, Großbritannien
124
Patente gesamt
25
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte