Die Verwendung eines Lösungsmittels zur Behandlung von Polysilazan

EP1463099 Art B1 2. Dezember 2015

Anmelder: Merck Patent GmbH, AZ Electronic Materials USA Corp., Clariant International Ltd. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1463099
Aktenzeichen
EP02805890
Anmeldetag
19. Dezember 2002
Veröffentlichung
2. Dezember 2015
Erteilung
2. Dezember 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/306H01L21/304C09G1/02C08J7/02H01L21/312
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Merck Patent GmbH
AZ Electronic Materials USA Corp.
Clariant International Ltd.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Clariant ist ein Schweizer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Muttenz, der Additive, Katalysatoren und Wirkstoffe für Industrie, Konsumgüter und Energieanwendungen herstellt.

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