Uniaxiale Antriebseinheit und Oberflächenformmesseinrichtung die diese verwendet
EP1463185
Art B1
23. September 2009
Anmelder: TOKYO SEIMITSU CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1463185
- Aktenzeichen
- EP04007273
- Anmeldetag
- 25. März 2004
- Veröffentlichung
- 23. September 2009
- Erteilung
- 23. September 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H02K41/02H02K41/03G01B7/34G01B11/24G01B7/008G01B7/28G01B21/04G01B21/20G01B5/004G01B5/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Seimitsu
Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.
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