Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit erzeugter Artikel

EP1465014 Art B1 6. August 2008

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1465014
Aktenzeichen
EP04251284
Anmeldetag
5. März 2004
Veröffentlichung
6. August 2008
Erteilung
6. August 2008
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20H02K41/00H02K41/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen