Halbleiterwafer und Belichtungsmaske mit Justiermarken, Verfahren zur Markenermittlung und Belichtungsverfahren

EP1465017 Art A3 23. Mai 2007

Anmelder: Sony Corporation, SONY CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1465017
Aktenzeichen: EP04007823
Anmeldetag: 31. März 2004
Veröffentlichung: 23. Mai 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Sony Corporation
SONY CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sony Group

Japanischer Technologie- und Unterhaltungskonzern mit Sitz in Tokio. Sony entwickelt Unterhaltungselektronik, Bildsensoren, Spielesysteme sowie Musik- und Filmangebote.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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