Methode zur Herstellung von elektrisch leitenden Durchführungen

EP1465246 Art B1 18. Dezember 2013

Anmelder: IMEC, Interuniversitaire Microelectronica Centrum vzw ( IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1465246
Aktenzeichen
EP04447086
Anmeldetag
2. April 2004
Veröffentlichung
18. Dezember 2013
Erteilung
18. Dezember 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768H01L23/48
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
Interuniversitaire Microelectronica Centrum vzw ( IMEC)
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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