Druckaufnehmer mit Dual-Slope Ausgangssignal
EP1466151
Art A1
13. Oktober 2004
Anmelder: MKS INSTRUMENTS, INC., MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1466151
- Aktenzeichen
- EP02805952
- Anmeldetag
- 16. Dezember 2002
- Veröffentlichung
- 13. Oktober 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L9/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS INSTRUMENTS, INC.
MKS Instruments, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Brown, Kenneth Richard
London, Großbritannien
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