Kontaminationsunterdrückung bei der Chemischen Fluidablagerung
EP1466353
Art A1
13. Oktober 2004
Anmelder: University of Massachusetts 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1466353
- Aktenzeichen
- EP02796032
- Anmeldetag
- 20. Dezember 2002
- Veröffentlichung
- 13. Oktober 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/31H01L21/44H01L21/469
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- University of Massachusetts
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of Massachusetts
Staatliches Universitätssystem im US-Bundesstaat Massachusetts mit mehreren Standorten, unter anderem Amherst, Boston und Worcester, aktiv in Forschung und Lehre über zahlreiche Fachrichtungen.
938 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
von Samson-Himmelstjerna, Friedrich
München, Deutschland
500
Patente gesamt
30
Fachgebiete
14
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter