Optimiertes Verfahren zum Transferieren einer Siliziumkarbid-Dünnschicht auf einem Empfangsubstrat

EP1468445 Art B1 9. August 2006

Anmelder: S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1468445
Aktenzeichen
EP03701540
Anmeldetag
21. Januar 2003
Veröffentlichung
9. August 2006
Erteilung
9. August 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/18H01L21/265H01L21/762H01L21/20H01L21/76
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies

S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies war ein französischer Hersteller von Silizium-auf-Isolator-Wafern für die Halbleiterindustrie, das heutige Unternehmen firmiert als Soitec. Der Patentbestand konzentriert sich fast ausschließlich auf Halbleiterbauelemente und Waferbondverfahren.

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