Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1469347
Art A1
20. Oktober 2004
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1469347
- Aktenzeichen
- EP03076142
- Anmeldetag
- 17. April 2003
- Veröffentlichung
- 20. Oktober 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Prins, Adrianus Willem
Den Haag, Niederlande
1.547
Patente gesamt
34
Fachgebiete
26
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Prins, Adrianus Willem, Mr. Ir
NoneDen Haag