Zweischichtiger Film und Verfahren zur Ausbildung einer Struktur damit
EP1469353
Art A1
20. Oktober 2004
Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1469353
- Aktenzeichen
- EP02781788
- Anmeldetag
- 15. November 2002
- Veröffentlichung
- 20. Oktober 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/26G03F7/022G11B5/60
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- JSR Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JSR Corporation
JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.
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Vertreten von
Leson, Thomas Johannes Alois, Dipl.-Ing
München, Deutschland
4.590
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