Zweischichtiger Film und Verfahren zur Ausbildung einer Struktur damit

EP1469353 Art A1 20. Oktober 2004

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1469353
Aktenzeichen
EP02781788
Anmeldetag
15. November 2002
Veröffentlichung
20. Oktober 2004
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/26G03F7/022G11B5/60
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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