Kühlsystem für eine Antriebsspule

EP1469578 Art A3 7. Juni 2006

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1469578
Aktenzeichen
EP04009239
Anmeldetag
19. April 2004
Veröffentlichung
7. Juni 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H02K9/19H02K9/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Holding N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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