Verfahren zur Abscheidung von Metallfreien Kohlenstoffschichten
EP1470263
Art B1
9. September 2009
Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1470263
- Aktenzeichen
- EP03718664
- Anmeldetag
- 28. Januar 2003
- Veröffentlichung
- 9. September 2009
- Erteilung
- 9. September 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.
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