Steuerung der Kritischen Dimension in der Photolithographie unter Verwendung von Retikelmessungen
EP1470447
Art B1
8. Oktober 2008
Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1470447
- Aktenzeichen
- EP02784585
- Anmeldetag
- 25. November 2002
- Veröffentlichung
- 8. Oktober 2008
- Erteilung
- 8. Oktober 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03C5/00G06F19/00G21K5/00G06F17/50G01D18/00G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- International Business Machines Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
IBM
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
9.753 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Gascoyne, Belinda Jane
Winchester, Großbritannien
306
Patente gesamt
19
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Mather, Belinda
NoneLondon