Substratverarbeitungsvorrichtung und -kammer

EP1470571 Art A2 27. Oktober 2004

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1470571
Aktenzeichen: EP03705844
Anmeldetag: 21. Januar 2003
Veröffentlichung: 27. Oktober 2004
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00C23C16/04C23C18/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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