Verfahren für Zweischicht-HDP-CVD und PE-CVD-Deckschicht in hochentwickelten BEOL-Verbindungsstrukturen

EP1470580 Art B1 28. Dezember 2011

Anmelder: International Business Machines Corporation, Infineon Technologies AG, Infineon Technologies North America Corp. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1470580
Aktenzeichen
EP02784578
Anmeldetag
22. November 2002
Veröffentlichung
28. Dezember 2011
Erteilung
28. Dezember 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768H01L23/532
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
International Business Machines Corporation
Infineon Technologies AG
Infineon Technologies North America Corp.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

9.753 Patente in unserer Datenbank

🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

4.872 Patente in unserer Datenbank

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