Schleifkissen und Verfahren zum Polieren einer Halbleiterplatte

EP1470892 Art A1 27. Oktober 2004

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1470892
Aktenzeichen
EP04009441
Anmeldetag
21. April 2004
Veröffentlichung
27. Oktober 2004
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24D7/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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