Abbildungssystem für ein, auf extrem ultravioletter (EUV) Strahlung basierendem Mikroskop
EP1471539
Art B1
23. August 2006
Anmelder: Carl Zeiss Microelectronic Systems GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1471539
- Aktenzeichen
- EP03016371
- Anmeldetag
- 19. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 23. August 2006
- Erteilung
- 23. August 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G21K7/00G21K1/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss Microelectronic Systems GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Muhsfeldt, Willi
Jena, Deutschland
10
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte