Waferträgertür und Verriegelungsmechanismus mit Sanduhrförmiger Keilnut
EP1472159
Art A1
3. November 2004
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1472159
- Aktenzeichen
- EP03702093
- Anmeldetag
- 14. Januar 2003
- Veröffentlichung
- 3. November 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B65D85/48
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
Legg, Cyrus James Grahame
London, Großbritannien
662
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19
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