Facettenspiegel mit mehreren Spiegelfacetten

EP1472562 Art B1 14. April 2010

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1472562
Aktenzeichen
EP02806742
Anmeldetag
23. Dezember 2002
Veröffentlichung
14. April 2010
Erteilung
14. April 2010
Rechtsraum
EP
IPC
G02B7/182G02B5/09
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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