Verfahren zur Korrektur von Schwingungsinduzierten Abbildungsfehlern in einem Objektiv
EP1472564
Art A1
3. November 2004
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1472564
- Aktenzeichen
- EP03737275
- Anmeldetag
- 27. Januar 2003
- Veröffentlichung
- 3. November 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B27/64G02B17/08G02B27/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Lorenz, Werner
Heidenheim, Deutschland
361
Patente gesamt
33
Fachgebiete
13
Anmelder-Länder
Schwerpunkte