Verfahren zur Korrektur von Schwingungsinduzierten Abbildungsfehlern in einem Objektiv

EP1472564 Art A1 3. November 2004

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1472564
Aktenzeichen
EP03737275
Anmeldetag
27. Januar 2003
Veröffentlichung
3. November 2004
Rechtsraum
EP
IPC
G02B27/64G02B17/08G02B27/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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