Aufschleuder-Antireflexbeschichtungen für die Photolithographie

EP1472574 Art A1 3. November 2004

Anmelder: Honeywell International Inc., Honeywell International, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1472574
Aktenzeichen
EP01996057
Anmeldetag
15. November 2001
Veröffentlichung
3. November 2004
Rechtsraum
EP
IPC
G03C1/492C08G77/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Honeywell International Inc.
Honeywell International, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Honeywell

US-amerikanischer Mischkonzern mit Schwerpunkten in Luft- und Raumfahrttechnik, Automatisierungslösungen, Gebäudetechnik sowie Spezialchemikalien und -materialien für Industrie- und Verteidigungskunden.

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