Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Metallschichten

EP1473379 Art B1 5. August 2009

Anmelder: Canon Anelva Corporation, PhyzChemix Corporation, Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1473379
Aktenzeichen
EP04017491
Anmeldetag
28. Oktober 2002
Veröffentlichung
5. August 2009
Erteilung
5. August 2009
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/00C23C14/02C23C14/06C23C14/16C23C28/02H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Canon Anelva Corporation
PhyzChemix Corporation
Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Brown, Kenneth Richard London, Großbritannien
983
Patente gesamt
29
Fachgebiete
15
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Nachrichtentechnik & Telekommunikation Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Akustik, Musik & Datenspeicherung Optik & Fototechnik Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik
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