Verfahren zur Vermeidung von Ablagerungen von Verunreinigungsteilchen auf die Oberfläche eines Mikrobauteils, Aufbewahrungsvorrichtung für ein Mikrobauteil und Vorrichtung zur Abscheidung von dünnen Schichten
EP1473381
Art B1
18. Juli 2007
Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1473381
- Aktenzeichen
- EP04354017
- Anmeldetag
- 2. April 2004
- Veröffentlichung
- 18. Juli 2007
- Erteilung
- 18. Juli 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/22C23C16/52C23C26/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Energie Atomique
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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