Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Form und/oder der Verfomung eines Objektes, insbesondere durch Interferenzmessung

EP1473539 Art B1 28. September 2016

Anmelder: Carl Zeiss Optotechnik GmbH, Steinbichler Optotechnik GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1473539
Aktenzeichen
EP04009704
Anmeldetag
23. April 2004
Veröffentlichung
28. September 2016
Erteilung
28. September 2016
Rechtsraum
EP
IPC
G01M17/02G01B11/16G01B11/24
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Carl Zeiss Optotechnik GmbH
Steinbichler Optotechnik GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland

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