Plasmabearbeitungsvorrichtung und -Verfahren

EP1474264 Art B1 4. November 2015

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1474264
Aktenzeichen
EP03739797
Anmeldetag
14. Februar 2003
Veröffentlichung
4. November 2015
Erteilung
4. November 2015
Rechtsraum
EP
IPC
B23K10/00H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
LAM RESEARCH CORPORATION
Lam Research Corporation
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Vertreten von
Kontrus, Gerhard Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik Elektronik & Schaltungstechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik
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