Resisttrocknung mit einem Lösungsbad und Superkritischem Co Sb 2 /sb
EP1474723
Art A2
10. November 2004
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Electron Limited, Supercritical Systems Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1474723
- Aktenzeichen
- EP03713498
- Anmeldetag
- 14. Februar 2003
- Veröffentlichung
- 10. November 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03C5/00B08B3/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Electron Limited
Supercritical Systems Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Boehmert & Boehmert
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Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
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